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inficon真空緊湊型的校準(zhǔn)泵組就能夠組建起這樣一個(gè)系統(tǒng)。譜拓認(rèn)為這個(gè)易于使用的便攜式系統(tǒng)是專(zhuān)為同時(shí)在線進(jìn)行多個(gè)儀器檢測(cè)而量身定做的。其系統(tǒng)具有使用便捷、快速及符合人體工學(xué)標(biāo)準(zhǔn)的特點(diǎn)。
校準(zhǔn)要求
在進(jìn)行校準(zhǔn)前，必須滿(mǎn)足如下條件：
■系統(tǒng)極限壓力ρE必須超過(guò) 很小校準(zhǔn)壓力ρmin的50倍
(ρE≤ρmin/50)
■環(huán)境溫度必須恒定(±1°C)
■校準(zhǔn)系統(tǒng)必須熱穩(wěn)定
■標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)和其他真空計(jì)在測(cè)量時(shí)真空度必須穩(wěn)定
inficon真空解決方案
inficon真空提供了一套緊湊、便攜的泵組用于校準(zhǔn)。這套泵組由一套渦輪分子泵組(例如，HiCube80Eco)和一個(gè)采用玻璃珍珠噴沙工藝的不銹鋼腔體組成。
渦輪分子泵組由一個(gè)帶Holweck級(jí)的(HiPace80)渦輪分子泵和一款干式壓縮隔膜泵(MVP015-2)組成。這款泵組的抽速 很高可達(dá)67l/s并且 很終真空度可達(dá)110-7 hPa。
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為了校準(zhǔn)裝置的后續(xù)發(fā)展，具備更多功能，要保證裝置具有拓展功能接口。研發(fā)人員采用在裝置中預(yù)留通用真空接口的方式，方便后續(xù)產(chǎn)品組合，拓展新的功能，如拓展漏孔校準(zhǔn)、檢漏等功能。通過(guò)真空事業(yè)部多年來(lái)的不斷攻堅(jiān)克難，大膽創(chuàng)新，目前研制成功的便攜式真空計(jì)校準(zhǔn)裝置在設(shè)備外觀、客戶(hù)界面及操作使用上更加美觀合理，具備體積小、易攜帶，不受環(huán)境、空間等因素影響，隨時(shí)隨地都可進(jìn)行校準(zhǔn)使用，
同時(shí)還具備拓展功能接口，便于拓展漏孔校準(zhǔn)、檢漏等功能，解決了長(zhǎng)期以來(lái)真空校準(zhǔn)裝置笨重?zé)o法攜帶到現(xiàn)場(chǎng)只能在實(shí)驗(yàn)室校準(zhǔn)的技術(shù)難題，實(shí)現(xiàn)了現(xiàn)場(chǎng)真空計(jì)的準(zhǔn)確校準(zhǔn)。使用便攜式真空計(jì)校準(zhǔn)裝置“小尺子”都出現(xiàn)在什么地方？便攜式真空計(jì)校準(zhǔn)裝置自研制代至今，近幾年來(lái)，產(chǎn)品得到國(guó)內(nèi)外30多家單位的應(yīng)用。
“小尺子”發(fā)揮著“大作用”，在嫦娥系列月球探測(cè)器、火星探測(cè)器、空間站、北斗導(dǎo)航等重大航天型號(hào)任務(wù)的研制試驗(yàn)及發(fā)射中得到了極大應(yīng)用；在芯片、行波管、高大上電氣、真空器件、高精度時(shí)鐘、電池等生產(chǎn)過(guò)程/生產(chǎn)設(shè)備的定期校準(zhǔn)中也發(fā)揮著重要作用；同時(shí)，在航空發(fā)動(dòng)機(jī)、火箭、等的試驗(yàn)與生產(chǎn)，特種鋼材冶煉、高純度氣體制備、裝備生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)都曾出現(xiàn)便攜式真空計(jì)校準(zhǔn)裝置的小身影。
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DL-10A的校準(zhǔn)曲線如下所示：▲DL-10A校準(zhǔn)曲線橫坐標(biāo)是中國(guó)計(jì)量院科學(xué)院測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)值，氣樣是氮?dú)??？v坐標(biāo)是DL-10A顯示值。DL-10A的下限決定于Z0隨時(shí)間漂移帶來(lái)的誤差。它主要決定于晶振的結(jié)構(gòu)以及環(huán)境溫度的變化。PART 02石英真空計(jì)性能
●石英真空計(jì)的精度較高，用音叉結(jié)構(gòu)的晶振安裝在穩(wěn)定溫度的金屬柱上，在0.01Pa~105Pa之間測(cè)量誤差為±10%。在真空計(jì)上限附近，即接近大氣壓經(jīng)過(guò)調(diào)整后誤差較小可做到3%。隨著壓強(qiáng)的減小，誤差會(huì)增大。在真空計(jì)的下限誤差較大。
▲DL-10A在中國(guó)計(jì)量科學(xué)院校準(zhǔn)氮?dú)饨Y(jié)果
●石英真空計(jì)讀數(shù)與氣體種類(lèi)有關(guān)，不同氣體的相對(duì)壓強(qiáng)讀數(shù)也不同。下圖采用的基準(zhǔn)氣體為氮?dú)?，測(cè)量不同氣體時(shí)，應(yīng)對(duì)該氣體進(jìn)行修正。▲不同氣體的壓強(qiáng)讀數(shù)
●環(huán)境溫度的變化會(huì)影響石英真空計(jì)的讀數(shù)，在高壓強(qiáng)不會(huì)引起很大誤差，但在接近下限，會(huì)引起很大的誤差。這主要體現(xiàn)在晶體的固有阻抗Z0隨溫度變化。
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